Большинство микроэлектромеханических систем (microelectromechanical system, MEMS), которые широко используются сейчас в различных типах датчиков, применяемых в автомобилях, реактивных двигателях, промышленном оборудовании, бытовых устройствах и электронных приборах, изготовлено из кремния, из-за чего они работают хорошо в диапазоне средних температур окружающей среды. Небольшое отклонение от номинальной температуры или небольшое количество тепла, поступившего извне, является причиной того, что параметры таких датчиков, в том числе и их точность, очень сильно "плывут", а в некоторых случаях датчики полностью теряют свою работоспособность.
Читать полностью на DailyTechInfo.Org » Новый сверхпрочный сплав сделает микроэлектронные датчики более надежными 
