Ю.А. Родионов | Технологические процессы в микро- и наноэлектронике (2019) [PDF]

Автор: Ю.А. Родионов
Издательство: Инфра-Инженерия
ISBN: 978-5-9729-0337-5
Жанр: Электроника, физика
Формат: PDF
Качество: Изначально электронное (ebook)
Иллюстрации: Цветные и черно-белые

Описание:
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Скриншоты:

Время раздачи: Пн.-Пт. с 19.00 до 7.00, Сб.-Вс. 2/24 (до появления первых 3-5 скачавших)