С.А. Пивоваренок, Д.В. Ситанов | Процессы микро- и нанотехнологий (2016) [PDF]
Автор: С.А. Пивоваренок, Д.В. Ситанов
Издательство: Ивановский ГХТУ
Жанр: Электроника
Формат: PDF
Качество: Изначально электронное (ebook)
Иллюстрации: Черно-белые
Описание:Учебное пособие содержит описание базовых процессов планарной технологии изготовления интегральных микросхем в микро и наноэлектронике. Рассматриваются процессы очистки материалов, получение эпитаксиальных пленок на поверхности подложек, формирование защитных и пассивирующих покрытий, а также фотолитография, диффузия и изготовление печатных плат. Каждый раздел пособия содержит перечень вопросов для самоподготовки. С целью получения практических навыков и закрепления теоретического материала в пособие включены шесть базовых лабораторных работ по основным технологическим процессам.
Введение.
Очистка полупроводниковых подложек.
Эпитаксия.
Процессы формирования защитных и пассивирующих покрытий.
Процессы создания топологии микрорельефа в технологии микро- и наноэлектроники.
Высокотемпературная диффузия примеси в объем полупроводниковой подложки.
Технологические процессы изготовления односторонних и двухсторонних печатных плат.
Технологические процессы изготовления многослойных печатных плат.
Приложения.
Определение толщины оксидной пленки методом цветовых оттенков Ньютона.
Основные материалы и операции, используемые при изготовлении печатных плат.
Технологические маршруты изготовления печатных плат.
Список рекомендуемой литературы.
Скриншоты:
Время раздачи: Пн.-Пт. с 19.00 до 7.00, Сб.-Вс. 2/24 (минимум до появления первых 3-5 скачавших)