О.А. Агеев, Б.Г. Коноплёв (ред.) | Нанотехнологии в микроэлектронике (2019) [PDF]
Автор: О.А. Агеев, Б.Г. Коноплёв (ред.)
Издательство: Наука
ISBN: 978-5-02-040201-0
Жанр: Электроника
Формат: PDF
Качество: Изначально электронное (ebook)
Иллюстрации: Черно-белые
Описание:В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно телекоммуникационных систем. Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии: молекулярно-лучевой эпитаксии, импульсного лазерного осаждения, плазмохимического осаждения из газовой фазы, сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии, фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки, а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.
Скриншоты:
Время раздачи: Пн.-Пт. с 19.00 до 7.00, Сб.-Вс. 2/24 (минимум до появления первых 3-5 скачавших) 
