В.Ю. Васильев | Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем (2022) [PDF]
Автор: В.Ю. Васильев
Издательство: НГТУ
ISBN: 978-5-7782-4726-0
Жанр: Электроника
Формат: PDF
Качество: Изначально электронное (ebook)
Иллюстрации: Цветные и черно-белые
Описание:Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем.
Скриншоты:
Время раздачи: Пн.-Пт. с 19.00 до 7.00, Сб.-Вс. 2/24 (минимум до появления первых 3-5 скачавших) 
(Голосов: 
